ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. World Science, [S. l.], v. 1, n. 4(8), p. 35–39, 2016. Disponível em: https://rspublisher.org/index.php/ws/article/view/1115. Acesso em: 17 mar. 2026.