“ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ” (2016) World Science, 1(4(8), pp. 35–39. Available at: https://rspublisher.org/index.php/ws/article/view/1115 (Accessed: 17 March 2026).