“ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ”, WS, vol. 1, no. 4(8), pp. 35–39, Apr. 2016, Accessed: Nov. 01, 2026. [Online]. Available: https://rspublisher.org/index.php/ws/article/view/1115