ПРИМЕНЕНИЕ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ ДЛЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКОЙ КОРРЕКЦИИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИХ СИСТЕМ. RS Global - World Science [Internet]. 2016 Apr. 30 [cited 2026 Mar. 17];1(4(8):35-9. Available from: https://rspublisher.org/index.php/ws/article/view/1115